一、相关消防系统
室内外消火栓系统
洁净厂房消火栓的设置应符合下列规定：
（１）洁净室（区）的生产层及上下技术夹层（不含不通行的技术夹层），应设置室内消火栓。
（２）洁净厂房室外消火栓的用水量不应小于１５Ｌ／ｓ。
（３）室内消火栓的用水量不应小于１０Ｌ／ｓ，同时使用水枪数不应少于２支，水枪充实水柱不应小于１０ｍ，每只水枪的出水量不应小于５Ｌ／ｓ。
固定灭火系统
１．自动喷水灭火系统喷水强度一般不宜小于８．０Ｌ／（ｍｉｎ·ｍ２），作用面积不宜小于１６０ｍ２。
２．其他灭火设施除设置水灭火系统之外，目前较为广泛使用的还有二氧化碳、ＩＧ５４１、三氟甲烷和七氟丙烷等洁净气体灭火系统。
火灾自动报警系统
（１）硅烷储存、分配间（区）应设置红外线－紫外线火焰探测器。
（２）洁净生产区、走道和技术夹层（不包括不通行的技术夹层）应设置手动报警按钮和声光报警装置
防烟排烟系统
１．防烟设施
当疏散楼梯间布置在建筑的外墙侧，可以采用可开启外窗进行自然排烟。当疏散楼梯布置在建筑内部或楼梯间有洁净要求不具备自然排烟条件时，应设置机械加压送风系统。
２．排烟系统
（１）丙类厂房中建筑面积大于３００ｍ２且经常有人停留或可燃物较多的地上洁净室和建筑面积大于２００ｍ２或一个房间建筑面积大于５０ｍ２，且经常有人停留或可燃物较多的地下洁净室应设排烟设施。洁净厂房疏散走道应设置机械防排烟设施。
（２）洁净厂房每个防烟分区的排烟支管上均应设置排烟防火阀，排烟口采用常开型风口。
（３）排烟风机入口处设置２８０°C关闭的排烟防火阀，并与排烟风机连锁。
（４）在排烟风机入口处的总管上应设置当烟气温度超过２８０°C时能自行关闭的排烟防火阀，且应与排烟风机连锁，当该阀关闭时，排烟风机应能停止运转。
（５）排烟口宜采用低泄漏常闭型板式排烟口，在排烟风机入口处采用低泄漏常闭型排烟防火阀并能接受消防中心的信号自动开启阀体。
（６）目前洁净室设计的排烟形式主要有上排烟模式、上排烟和下排烟相结合模式、利用回风通道设置排烟风机进行排烟形式、排烟风机兼作火灾时排烟形式。
二、设施配置与电气装置
灭火器配置
灭火器的配置，其关键在于正确选择和使用灭火剂。在选择灭火器时，应当考虑以下因素：灭火器配置场所的火灾种类；灭火剂的灭火有效程度；对保护物品的污损程度；设置点的环境温度；灭火剂之间及灭火剂与可燃物的相容性；使用灭火器人员的素质等。
应急照明和疏散标志
洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志，在专用消防扑救口处应设置红色应急照明灯。
三、气体管道
可燃气体报警装置和事故排风装置
下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁。
（１）甲类火灾危险生产的气体入口室。
（２）洁净室内使用可燃气体处。
（３）管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处。
管道安全技术措施
（１）可燃气体管道应设的安全技术措施有：①应设导除静电的接地设施；②接至用气设备的支管和放散管，应设置阻火器；③引至室外的放散管，应设防雷保护设施。
（２）氧气管道应设的安全技术措施有：①管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理；②应设导除静电的接地设施。